COMBI BNV 0500 C 0100 BA–BNV 4500 B 0950 AA
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摘要
Busch 普旭 COMBI BNV 真空泵機組：可靠的真空解決方案 專為工業(yè)復(fù)雜工況設(shè)計，這款 COMBI BNV 0500 C 0100 BA–BNV 4500 B 0950 AA 真空泵機組 是 Busch（普旭） 的旗艦級真空系統(tǒng)，集成干式螺桿泵（COBRA）與羅茨增壓泵（PANDA）技術(shù)，為您提供超高抽速、低極限壓力、節(jié)能且低維護的真空性能，廣泛適用于半導(dǎo)體、光伏、化工、真空鍍膜、電子制造及工業(yè)干燥等嚴苛領(lǐng)域。
產(chǎn)品介紹
COMBI BNV 0500 C 0100 BA–BNV 4500 B 0950 AA真空泵機組
技術(shù)規(guī)格
ISO 50 HzISO 60 HzUS 60 Hz
COMBI BNV 0500 C 0100 BA–BNV 4500 B 0950 AA 真空泵機組：工業(yè)級真空解決方案的效能標桿
核心優(yōu)勢：
作為
Busch Vacuum Solutions研發(fā)的高性能真空機組，COMBI BNV 系列采用
Cobra 前級泵與 Panda 真空增壓泵組合，專為工業(yè)級真空需求設(shè)計。其模塊化架構(gòu)可實現(xiàn)
高抽速與低極限壓力的平衡，適用于半導(dǎo)體制造、塑料加工、太陽能電池生產(chǎn)等對真空穩(wěn)定性要求嚴苛的場景。通過優(yōu)化氣流路徑與智能控制邏輯，該機組相比傳統(tǒng)單泵系統(tǒng)節(jié)能 30% 以上，同時將抽氣時間縮短至行業(yè)平均水平的 60%。
技術(shù)亮點：
協(xié)同設(shè)計
前級泵與增壓泵的精密匹配，使機組在
0.01 mbar 至大氣壓力的寬量程范圍內(nèi)保持穩(wěn)定抽速，尤其在中高真空區(qū)間（1–100 mbar）表現(xiàn)。
集成
智能壓力傳感器，可自動調(diào)節(jié)泵組運行狀態(tài)，避免因工藝波動導(dǎo)致的能耗浪費。
低維護與長壽命
采用
無油干式壓縮技術(shù)，消除傳統(tǒng)油潤滑泵的油霧污染與頻繁換油需求，維護周期延長至 20,000 小時以上。
關(guān)鍵部件（如增壓泵轉(zhuǎn)子）采用
碳化硅涂層工藝，耐腐蝕性提升 5 倍，適用于含化學(xué)腐蝕性氣體的復(fù)雜工況。
緊湊與靈活適配
占地面積較同類產(chǎn)品減少 40%，可輕松集成于生產(chǎn)線或?qū)嶒炇遗_架。
支持
多泵并聯(lián)擴展，通過 Busch 專屬控制系統(tǒng)實現(xiàn)集群化管理，滿足從單工位到大型產(chǎn)線的差異化需求。
應(yīng)用場景：
· 半導(dǎo)體晶圓制造：在 PECVD（等離子體增強化學(xué)氣相沉積）工藝中，維持 10?² mbar 級真空度，確保薄膜均勻性偏差小于 ±1.5%。
· 塑料擠出與成型：為雙螺桿擠出機提供穩(wěn)定真空脫氣，使塑料制品的氣泡率降低至 0.1% 以下，拉伸強度提升 15%。
· 太陽能電池生產(chǎn)：在硅片切割與鍍膜環(huán)節(jié)，快速建立 10?¹ mbar 真空環(huán)境，助力提升電池轉(zhuǎn)換效率至 24% 以上。
可持續(xù)性與可靠性：
· 節(jié)能設(shè)計：通過變頻驅(qū)動技術(shù)（可選配 eco torque 模塊），實時匹配工藝需求，相比定頻泵組節(jié)能最高達 50%。
· 服務(wù)網(wǎng)絡(luò)：依托 Busch 遍布 40 余國的技術(shù)團隊，提供 7×24 小時遠程診斷與備件 48 小時極速響應(yīng)，確保設(shè)備停機時間趨近于零。
行動呼吁：
立即聯(lián)系我們獲取免費工況適配方案，體驗 COMBI BNV 機組如何通過
智能真空管理為您的生產(chǎn)流程降本增效。Busch 中國團隊將為您提供從安裝調(diào)試到工藝優(yōu)化的全生命周期支持，助力您的企業(yè)在半導(dǎo)體、新能源等賽道建立技術(shù)壁壘。
（注：文中性能數(shù)據(jù)基于 Busch 公開技術(shù)文檔及行業(yè)應(yīng)用案例，具體參數(shù)可根據(jù)工藝需求定制。）
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